工控摘要：敞開式直線光柵尺設(shè)計(jì)用于需要高精度測(cè)量的機(jī)床和系統(tǒng)，它消除了滾珠絲杠溫度特性和運(yùn)動(dòng)特性導(dǎo)致的誤差，反向誤差。
　　
　　典型應(yīng)用包括:
　　
　　半導(dǎo)體工業(yè)的測(cè)量和生產(chǎn)設(shè)備
　　
　　電路板組裝機(jī)
　　
　　精密機(jī)床
　　
　　高精度機(jī)床
　　
　　測(cè)量機(jī)和比較儀，測(cè)量顯微鏡和其它精密測(cè)量設(shè)備
　　
　　直接驅(qū)動(dòng)
　　
　　?產(chǎn)品系應(yīng)用
　　
　　LIC敞開式直線光柵尺用于測(cè)量高速運(yùn)動(dòng)的行程達(dá)27m內(nèi)的位置。其尺寸和安裝方式與LIDA400相同.
　　
　　LIP敞開式直線光柵尺的測(cè)量步距非常小、精度和重復(fù)精度非常高。掃描方式為干涉掃描，測(cè)量基準(zhǔn)為DIADUR相位光柵。
　　
　　LIF敞開式直線光柵尺的測(cè)量基準(zhǔn)是SUPRADUR玻璃基體光柵，掃描方式為干涉掃描。特點(diǎn)是精度和重復(fù)精度高，安裝簡(jiǎn)單，有限位開關(guān)和回零軌。特殊型號(hào)的LIF481V可用于10–7bar的真空環(huán)境中（參見其單獨(dú)“產(chǎn)品信息”）。
　　
　　LIDA敞開式直線光柵尺特別適用于運(yùn)動(dòng)速度達(dá)10m/s的高速運(yùn)動(dòng)應(yīng)用，支持多種安裝方式，安裝簡(jiǎn)單。根據(jù)相應(yīng)應(yīng)用要求，METALLUR光柵的基體可為鋼帶，玻璃或玻璃陶瓷。也可有限位開關(guān)。
　　
　　?PP雙坐標(biāo)編碼器的測(cè)量基準(zhǔn)是一個(gè)平面DIADUR相位光柵，掃描方式為干涉掃面。用于測(cè)量平面中位置。
　　
　　機(jī)械結(jié)構(gòu)
　　
　　敞開式直線光柵尺包括光柵尺或鋼帶光柵尺和讀數(shù)頭，光柵尺和讀數(shù)頭間無機(jī)械接觸。敞開式直線光柵尺的長(zhǎng)光柵直接固定在安裝面上。安裝面的平面度直接影響直線光柵尺精度。