技術參數

MT/MOT

MTD

MKT

MX/MOX

MC/MOC

MP/MOP

MY/MOY

柵距

玻璃鉻線柵距： 20 μ m （0.0008 inch）

精度

± 10 μ m

± 5 μ m

（ ± 0.0004 "）

（ ± 0.0002 "）

分辨率

5 μ m （0.0002"）

1 μ m （0.00004"）

Up to 0.1 μ m

0.5 μ m （0.00002"）

（0.000004"）

零參考點 Io

MKT: 增量式 每 50 mm （1.97 "） 一個

MT, MTD, MX, MX-L, MC, MP, MY: 由中間向兩端 每 50 mm （1.97 "） 一個

MOT, MOX, MOC, MOP, MOY: 距離編碼零參考點

速度

60 m /min. （ 198 ' /min.）

頻率

50 Khz

250 Khz

50 Khz

500 Khz

振動

3g

移動力

< 5N （ 2N for MX-L series）

密封等級

IP 53 （ 標準 ）

IP 64 （DIN 40050） 使用壓縮空氣

輸出信號

TTL

TTL 差動

TTL

TTL 差動

11 μ App

1Vpp

TTL 差動

輸出信號

20 μ m

4 μ m

20 μ m

2 μ m